双元科技获得实用新型专利授权：“一种标定板”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示双元科技（688623）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种标定板”，专利申请号为CN202620950179.5，授权日为2026年7月28日。

专利摘要：本实用新型公开了一种标定板，用于半导体晶圆缺陷检测设备的标定，包括标定板基体以及设置于标定板基体上的标定图案组；标定图案组包括第一标定图案和第二标定图案，第一标定图案包括多条间隔设置的条纹栅线，条纹栅线的线宽与相邻条纹栅线之间的线距相等；第二标定图案包括至少一条第一长直线以及至少三条第二短直线，第一长直线与第二短直线相互正交，且条纹栅线的延伸方向与第一长直线的延伸方向平行。通过上述结构，该标定板能够用于暗场照明均匀性的评价，并可配合完成线扫相机姿态及标定板方位角的调试，减少更换不同标定板产生的重复定位误差，提高晶圆缺陷检测设备的标定效率和检测稳定性。

今年以来双元科技新获得专利授权14个，较去年同期增加了7.69%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了4028.35万元，同比减2.97%。

通过天眼查大数据分析，浙江双元科技股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目82次；财产线索方面有商标信息8条，专利信息133条，著作权信息74条；此外企业还拥有行政许可23个。

数据来源：天眼查APP

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