京仪装备获得发明专利授权：“一种EUV工艺废气处理装置及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种EUV工艺废气处理装置及方法”，专利申请号为CN202610570921.4，授权日为2026年7月24日。

专利摘要：本申请涉及一种EUV工艺废气处理装置及方法，其中EUV工艺废气处理装置包括：水箱组件，水箱组件上连接有反应塔组件及洗涤塔组件；反应塔组件包括依次设置的进气顶盖、反应腔塔段以及降温喷淋塔段；进气顶盖上连接有多个工艺废气进气管口以及多个第一助燃气体进气管口，用于分别向进气顶盖内部通入工艺废气及助燃气体；多个工艺废气进气管口相对进气顶盖的轴线倾斜对中交叉；反应腔塔段连接有至少两根第二助燃气体进气管口，第二助燃气体进气管口用于向反应腔塔段内部外补助燃气体，用以构成在进气顶盖以及反应腔塔段内的多级分层燃烧。本申请能够适用于氢气流量0~500 SLM跨大范围变动的废气处理，并且有效提高处理效率。

今年以来京仪装备新获得专利授权51个，较去年同期增加了104%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.4亿元，同比增48.65%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目108次；财产线索方面有商标信息54条，专利信息600条，著作权信息75条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。