西安奕材获得发明专利授权：“一种晶圆位置校准系统及方法、晶圆检测装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆位置校准系统及方法、晶圆检测装置”，专利申请号为CN202411681964.7，授权日为2026年7月24日。

专利摘要：本公开提供一种晶圆位置校准系统及方法、晶圆检测设备，晶圆位置校准系统包括：位置检测单元，用于检测晶圆在载台上的实际位置信息；水平度检测单元，用于对载台进行水平度检测；晶圆校准单元，用于对晶圆的位置进行校准；及控制单元，用于根据实际位置信息与预设的目标位置信息，确定晶圆当前位置是否在位置偏移阈值内，并当晶圆当前位置未在位置偏移阈值时，控制水平度检测单元对载台进行水平度检测，并判断载台水平度是否在水平偏差阈值内；当载台水平度在水平偏差阈值内时，控制晶圆校准单元对晶圆的位置进行校准，以将晶圆移动至目标位置上。本公开提供的晶圆位置校准系统及方法、晶圆检测装置，能够自动对晶圆位置进行校准。

今年以来西安奕材新获得专利授权70个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1629条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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