聚光科技：EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS已通过晶圆制造龙头企业应用评估_股票频道

证券之星消息，聚光科技(300203)07月22日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：公司ICP?MS/MS目前12寸先进制程（14/7nm）晶圆厂仅验证还是已小批量供货？是否进入中芯/华虹12寸量产线？

聚光科技回复：感谢您对公司的关注，公司推出的EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS系统在半导体检测领域持续深化布局，已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系，目前该技术平台已在产业链上游实现应用，成功完成供应商的产品导入和交付验证。在集成电路制造端，EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS已通过了在晶圆制造龙头企业的高纯湿化学品金属杂质监控体系中的应用评估，同时在晶圆表面金属污染检测（VPD-ICP-MS/MS）领域同样通过了客户的验证评估。谢谢！

本文数据来源于深圳证券交易所互动易，仅供参考不构成投资建议。

责任编辑：刘浩然