芯碁微装获得发明专利授权：“对位靶标图像分割方法及装置和光刻设备、模型训练方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“对位靶标图像分割方法及装置和光刻设备、模型训练方法”，专利申请号为CN202310147183.9，授权日为2026年7月21日。

专利摘要：本发明公开了一种对位靶标图像分割方法及装置和光刻设备、模型训练方法，其中，方法包括：获取无掩膜光刻对位靶标的原始图像；将原始图像输入包括注意力模块的ResUNet模型，以通过包括注意力模块的ResUNet模型的输出获得无掩膜光刻对位靶标的原始图像中的靶标特征区域；注意力模块包括空间注意力模块和自注意力模块，空间注意力模块与自注意力模块并联设置，自注意力模块基于空间对称性以点与点之间的相似度作为权重进行计算。本发明能够更好的对靶标进行特征抽象，实现多种光刻应用场景下对位靶标图像端到端的像素级的分割目的。

今年以来芯碁微装新获得专利授权27个，较去年同期增加了17.39%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目188次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息397条，著作权信息56条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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