富创精密获得发明专利授权：“一种适用于半导体行业的真空矩形阀门”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种适用于半导体行业的真空矩形阀门”，专利申请号为CN202110918196.2，授权日为2026年7月21日。

专利摘要：本发明公开了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，包括阀门固定机构、气缸组件及设置件、导向组件、升降组件和外置气路；所述阀门固定机构包括真空腔体、腔体连接板和固定座，所述真空腔体通过螺栓固定设置在腔体连接板的顶部，所述固定座固定设置在腔体连接板的底部。本发明通过选用标准气缸组件作为动力源，针对活塞杆不能承受径向冲击载荷的特点，设计辅助导向机构，通过将径向力传导至安装座，从而保护升降组件，本文通过设计阀门上升与关闭行程及凸轮槽，确保阀门在关闭时不会产生摩擦，且通过上升与关闭行程比保证在动作周期内的低振动性，从而大大降低了微小颗粒的产生。

今年以来富创精密新获得专利授权33个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.73亿元，同比增23.53%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了23家企业，参与招投标项目83次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息760条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可55个。

数据来源：天眼查APP

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