江化微获得发明专利授权：“一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示江化微（603078）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法”，专利申请号为CN202311771252.X，授权日为2026年7月21日。

专利摘要：本发明公开了一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液，按质量百分比计，铜蚀刻液主要组成为：过氧化氢5％～20％、有机酸5％～20％、有机碱3％～12％、金属保护剂0～0.25％、去离子水60％～77％；铜蚀刻液的pH值为2.1～3.6；有机酸为至少两种有机酸的组合。该强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液通过优选铜蚀刻液的主要组分含量和pH值范围，加快同一基板中光刻胶分布均匀且较密集以及光刻胶分布较稀疏两种不同区域的铜/钼铌层蚀刻速率，尤其是光刻胶分布较稀疏区域的蚀刻速率，使同一基板中不同区域的蚀刻时长趋于一致；缩短基板的整体蚀刻时长，提升铜/钼铌金属叠层基板的蚀刻效率和蚀刻精度一致性。本发明还公开了一种基于铜蚀刻液的蚀刻方法。

今年以来江化微新获得专利授权11个，较去年同期增加了450%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6945.73万元，同比增18.31%。

通过天眼查大数据分析，江阴江化微电子材料股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目41次；财产线索方面有商标信息72条，专利信息182条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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