证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体结构的制备方法和半导体结构”,专利申请号为CN202610466026.8,授权日为2026年7月21日。
专利摘要:本发明提供一种半导体结构的制备方法和半导体结构,涉及半导体技术领域。制备方法包括:提供金属互联半成品器件,包括第一介质层、设置于第一介质层内及表面的金属层,以及隔离金属层与第一介质层的阻挡层;以阻挡层为停止层,对金属层进行第一平坦化处理;在阻挡层和金属层的表面形成光敏介质层;第一光照条件下,以阻挡层为停止层对光敏介质层进行第二平坦化处理;避光条件下,对阻挡层进行第三平坦化处理,去除第一介质层表面的阻挡层;第二光照条件下,对剩余的光敏介质层进行第四平坦化处理,至光敏介质层去除完毕;对剩余的金属层进行第五平坦化处理。本发明的制备方法可以减少金属层与阻挡层交界区域的缺口凹陷,有利于后续电性的稳定。
今年以来晶合集成新获得专利授权305个,较去年同期增加了36.16%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目650次;财产线索方面有商标信息76条,专利信息1738条,著作权信息12条;此外企业还拥有行政许可29个。
数据来源:天眼查APP
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