芯源微获得发明专利授权：“涂胶显影的控制方法、设备、介质和程序”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“涂胶显影的控制方法、设备、介质和程序”，专利申请号为CN202511764641.9，授权日为2026年7月21日。

专利摘要：本发明涉及涂胶显影技术领域，提供一种涂胶显影的控制方法、设备、介质和程序，该方法包括：控制第一机械手在第一工艺单元中执行至少一种液处理工艺；将完成液处理工艺的晶圆通过第二机械手传送至第二工艺模块，在第二工艺单元中执行至少一种热处理工艺；控制层间机械手将其从第二工艺模块转移至第一工艺模块，控制第一工艺单元中的背洗单元对晶圆执行背洗工艺；将背洗后的晶圆经层间模块暂存后，传送至接口模块；控制接口机械手将晶圆送入光刻机；控制接口机械手将晶圆送入接口模块中的正洗单元执行正洗工艺。本发明用于实现背洗前置、正洗后置的非对称清洗的涂胶显影流程，并通过多模块独立机械手协同提升系统吞吐率。

今年以来芯源微新获得专利授权20个，较去年同期减少了20%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.55亿元，同比减14.21%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目345次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息702条，著作权信息109条；此外企业还拥有行政许可71个。

数据来源：天眼查APP

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