燕东微获得发明专利授权：“MEMS器件及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示燕东微（688172）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制备方法”，专利申请号为CN202310156790.1，授权日为2026年7月21日。

专利摘要：本申请实施例提供一种MEMS器件及其制备方法，其中MEMS器件包括：衬底；基于所述衬底形成的第一电极层；位于第一电极层上的第二电极层，所述第二电极层包括横梁与锚点；所述横梁悬置于所述第一电极上，所述横梁沿第一方向延伸且具有相对设置的两端，所述横梁沿第二方向具有相对设置的两侧，所述第一方向和所述第二方向均垂直于衬底厚度方向，且所述第一方向垂直于所述第二方向；所述横梁的至少一端设置有所述锚点，每个所述锚点包括两个锚固部，所述两个锚固部分别固定于所述横梁的两侧，且每个所述锚固部与所述第一电极层电接触。本申请实施例提供的MEMS器件及其制备方法，具有避免横梁弯曲，利于提高MEMS器件的性能的优点。

今年以来燕东微新获得专利授权6个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了8.02亿元，同比增136.24%。

通过天眼查大数据分析，北京燕东微电子股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目172次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息159条；此外企业还拥有行政许可9个。

数据来源：天眼查APP

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