拓荆科技获得发明专利授权：“一种加热盘对中调节装置及调节方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种加热盘对中调节装置及调节方法”，专利申请号为CN202211289139.3，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具体的说，涉及一种加热盘对中调节装置及调节方法。本发明提供了一种加热盘对中调节装置，包括机械手适配工装，用于放置晶圆型中心校准片，实现晶圆型中心校准片与机械手的定位校准；腔室基准工装，放置于腔室内，用于实现对腔室内径中心点的定位；加热盘基准工装，放置于加热盘上，用于实现对加热盘中心的定位；自动教学系统，通过晶圆型中心校准片采集腔室基准工装和加热盘基准工装的定位信息，获得当前加热盘与腔室的中心位置偏差。本发明通过三种工装实现利用ATS设备对机械手、腔室和加热盘三者之间的定位，实现了加热盘对中在真空下的调节，调节效率更高，提高复机时间。

今年以来拓荆科技新获得专利授权17个，较去年同期减少了45.16%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了7.7亿元，同比增1.8%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目106次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息731条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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