华海清科获得发明专利授权：“一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置”，专利申请号为CN202310820154.4，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本发明公开了一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置，该方法应用于晶圆处理装置，所述晶圆处理装置包括带动喷液嘴和喷气嘴摆动的摆臂，所述马兰戈尼干燥方法包括：第一阶段，喷液嘴从朝向晶圆中心的起始位置开始向晶圆表面供液以进行液膜覆盖，同时喷气嘴在保证不撕破液膜的情况下向外喷气，并且摆臂停留第一预设时间；第二阶段，喷液嘴和喷气嘴跟随摆臂的摆动而移动，同时喷液嘴保持供液，喷气嘴降低喷气流量以避免撕破液膜；第三阶段，当喷气嘴移动至其朝向晶圆中心时，喷气嘴的喷气流量增大至执行马兰戈尼干燥的相应流量，并且摆臂停留第二预设时间。

今年以来华海清科新获得专利授权55个，较去年同期增加了10%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目295次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息827条，著作权信息37条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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