中微公司获得发明专利授权：“一种基座组件以及预清洁腔室”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基座组件以及预清洁腔室”，专利申请号为CN202210251480.3，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本发明提供一种基座组件以及预清洁腔室。所述基座组件位于所述预清洁腔室内，包括：本体，所述本体的顶部边缘具有一环形表面；环绕所述本体设置的边缘环，其包括一热防护环片和抽气通道；所述热防护环片位于所述环形表面上方，腔室壁的热量可传导至所述热防护环片；所述抽气通道位于所述边缘环内部且连通所述基座组件上方的反应区域和所述腔室的内壁上的抽气口，所述反应区域的气体经所述抽气通道被抽出所述腔室外。本发明能够防止在基座与基片放置平面相平的上表面以及不与基片接触的侧面和底部产生沉积物，长久保持基片及腔室内清洁，减少维护频率，避免由于机械加工误差、安装误差、零件加热后热变形等不可避免因素影响泵抽气流均匀性的情况。

今年以来中微公司新获得专利授权90个，较去年同期增加了7.14%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目88次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1736条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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