证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构、制备方法、键合方法及半导体器件”,专利申请号为CN202610449908.3,授权日为2026年7月17日。
专利摘要:本申请涉及半导体技术领域,具体公开了一种半导体结构、制备方法、键合方法及半导体器件,半导体结构的制备方法包括:提供具有金属互联层的半导体衬底;在半导体衬底上形成介质层;刻蚀介质层以形成凹槽;在凹槽内共形形成吸气层后再填满保护层;刻蚀保护层、吸气层和介质层,形成从凹槽内贯穿连接至金属互联层的通孔;在通孔内填充金属材料层;减薄处理后形成键合面。其中,吸气层能够吸附键合退火过程中由介质层缩合等反应产生的气体,降低键合界面形成空洞的风险;当晶圆键合面对准存在微小偏差时,保护层能够阻隔金属原子向对侧晶圆的介质层扩散;同时,吸气层能够缓冲金属柱膨胀产生的应力,避免键合界面处介质层的应力损伤。
今年以来晶合集成新获得专利授权284个,较去年同期增加了30.88%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目650次;财产线索方面有商标信息76条,专利信息1738条,著作权信息12条;此外企业还拥有行政许可29个。
数据来源:天眼查APP
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