微导纳米获得发明专利授权：“保护磁流体的主轴结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“保护磁流体的主轴结构”，专利申请号为CN202511630974.2，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本发明提供一种保护磁流体的主轴结构、晶圆加工设备及磁流体保护方法，主轴结构包括背吸通道、主轴和套设于主轴上的壳体，在壳体上设置有径向贯穿的进气通道和抽气通道，在主轴与壳体之间设置有环形板和分别设置在环形板的轴向两侧的磁流体密封机构，在磁流体密封机构和主轴之间填充有磁流体，在磁流体密封机构与环形板之间设有端面间隙，在环形板内设置有保护气道，保护气道连通进气通道与端面间隙，环形板与主轴之间具有环形间隙，环形间隙与端面间隙连通，环形间隙与抽气通道连通，背吸通道与环形间隙连通；进气后可形成流动的气体屏障对磁流体进行保护，延长了磁流体的寿命。

今年以来微导纳米新获得专利授权47个，与去年同期持平。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息699条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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