中微公司获得发明专利授权：“晶圆对中检测装置、等离子体处理系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆对中检测装置、等离子体处理系统及方法”，专利申请号为CN202111176772.7，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆对中检测装置，包含：载体盘，通过传送机构放置在静电吸盘上，载体盘的放置位置与待处理晶圆在静电吸盘的放置位置对应；设置在载体盘的多个第一电极和/或多个成对第二电极，第一电极与静电电极构成第一电容，成对第二电极构成第二电容，第一、第二电容的电容值取决于载体盘与静电电极之间的相对位置；计算单元，其基于第一电容的电容值，和/或第二电容的电容值获取载体盘与静电吸盘对中的位置偏差。本发明还提供一种等离子体处理系统及一种晶圆对中方法。

今年以来中微公司新获得专利授权90个，较去年同期增加了7.14%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目88次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1736条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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