中微公司获得实用新型专利授权：“气体输送管道及半导体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体输送管道及半导体处理装置”，专利申请号为CN202521194367.1，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体输送管道及半导体处理装置，所述气体输送管道用于向半导体处理装置的反应腔内输送工艺气体，所述气体输送管道包括缓冲装置，所述缓冲装置包括主管路，所述主管路上设有第一特斯拉阀，所述第一特斯拉阀的高阻尼流通方向与所述主管路内的气体流动方向相同；本实用新型在气流波动时能有效实现缓冲，使进入反应腔的气流保持均匀，从而提高反应腔内的气体均匀性，优化工艺效果，并且结构简单、不易损坏。

今年以来中微公司新获得专利授权88个，较去年同期增加了4.76%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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