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华特气体：是国内唯一一家多款稀混光刻气同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业

来源：证星互动追踪

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2026-07-15 17:06:16

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证券之星消息，华特气体(688268)07月15日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：请问公司的 6N 级氦气是否通过了 ASML、Gigaphoton 的官方认证？是否是国内唯一获得该双认证的氦气量产企业？

华特气体回复：尊敬的投资者，您好！公司自主研发多款稀混光刻气（Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等），是国内唯一一家多款稀混光刻气（其中2款含有微量氟）同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业，并非单纯“氦气”，感谢您的关注。

本文数据来源于上海证券交易所e互动，仅供参考不构成投资建议。

责任编辑：刘浩然

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