中微公司获得发明专利授权：“一种衬底处理设备及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种衬底处理设备及方法”，专利申请号为CN202211236217.3，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本发明提供一种衬底处理设备，衬底处理设备包括反应腔室，反应腔室包括腔室主体、上腔室盖和下腔室盖，在腔室主体的侧面相对地设有工艺气体入口和出口，反应腔室还包括位于所述腔室主体的内侧壁的上衬套和下衬套；腔室主体上还设有用于注入吹扫气体的第一通道，上衬套的顶表面设置有第一匀气结构；吹扫气体经第一通道被注入到第一匀气结构进行匀气，匀气后从所述上衬套和上腔室盖之间的缝隙喷射出沿所述上腔室盖流动的气流。本发明还提供一种衬底处理方法。通过本发明能够减少上衬套与上腔室盖之间的沉积物，减少上腔室盖的沉积物，提高了工艺气体的利用率以及工艺气体流场分布的均匀性，保证了基片加工的良率。

今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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