中微公司获得发明专利授权：“一种聚焦环温控组件、基座及等离子体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种聚焦环温控组件、基座及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202111650575.4，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本发明公开了一种聚焦环温控组件、基座及等离子体处理设备，所述聚焦环温控组件其应用于等离子体处理设备中，等离子体处理设备包括：基座，环绕基座设置的绝缘环和聚焦环，聚焦环位于所述绝缘环上方；包括：边缘环，其环绕基座设置，位于聚焦环和绝缘环之间；加热组件，其设置在边缘环上。法兰，其设置在绝缘环和基座之间，位于加热组件下方，法兰内部设有电源通道。控温线缆，其通过电源通道与加热组件电连接，以通过加热组件对聚焦环进行温控。本发明能够实现对聚焦环的更准确精细的温度控制，具有更可靠的安全性。

今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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