中微公司获得发明专利授权：“等离子体约束系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体约束系统及方法”，专利申请号为CN202210121688.3，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体约束系统，设置在等离子体处理装置反应腔内的约束区域，所述约束区域位于反应腔的处理区域与排气区域之间，且位于固定基片的基座外周围与反应腔侧壁之间，所述等离子体约束系统设置有多个连通所述处理区域和排气区域的通道，且各所述通道沿基座的径向分布在所述约束区域，使所述处理区域产生的废气经过各所述通道输送到所述排气区域；其中，各所述通道的长度与其所在位置的原始废气流速正相关。本发明还公开了一种等离子体约束方法和等离子体处理装置。本发明在不增加等离子体泄露风险的前提下尽可能大的增大气体流导，进而提升等离子体刻蚀反应腔的真空度，以更好地满足工艺的要求。

今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。