中微公司获得发明专利授权：“分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备”，专利申请号为CN202211559180.8，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本发明公开一种分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备，半导体处理设备的反应腔内设置托盘旋转机构，所述托盘旋转机构包含支撑套筒、设置在所述支撑套筒内的拉杆组件，以及位于所述支撑套筒顶部的分气转接环，用于承托晶圆的晶圆托盘组件设置在分气转接环中的环主体上，晶圆托盘组件的下方设置加热装置，环主体内设置多条第一吹扫气体通道，用于向晶圆托盘组件的底部与加热装置的顶部之间的区域吹扫气体。本发明防止颗粒物沉积在加热装置上，有效保护加热装置，确保对晶圆的均匀加热，延长了加热装置的使用寿命。

今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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