盛美上海获得发明专利授权：“基板支撑装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“基板支撑装置”，专利申请号为CN202011489353.4，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本发明揭示一种基板支撑装置，包括旋转卡盘和多个定位销。旋转卡盘用于支撑和旋转基板，具有一支撑面。定位销设置在支撑面的外围，用于限制基板的水平位移。支撑面上设有第一环形区域。第一环形区域划分为多个销区域和多个非销区域。该多个销区域和多个非销区域在第一环形区域的圆周方向上交替排布。每个销区域对应一个定位销。多个伯努利孔设置在第一环形区域，配置成不均匀结构，从而能够在销区域提供比非销区域更强的气流。

今年以来盛美上海新获得专利授权19个，较去年同期增加了72.73%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了10.03亿元，同比增37.64%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目181次；财产线索方面有商标信息43条，专利信息740条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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