中微公司获得发明专利授权：“静电卡盘保护胶层的测量工具、方法及寿命预测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“静电卡盘保护胶层的测量工具、方法及寿命预测方法”，专利申请号为CN202210986431.4，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本发明公开了一种静电卡盘保护胶层的测量工具、方法及寿命预测方法。其中，所述测量工具包括：深度仪，其在测量时放置于所述反应腔内，包括深度仪主体，以及设置在深度仪主体的测量端面的可伸缩的探针；限位装置，与所述深度仪主体连接，用于限位所述深度仪使所述探针垂直抵接环状外壁以进行校零操作，或者使所述探针垂直抵接保护胶层外壁以进行测量操作。本发明解决现有技术的只能通过拆除静电卡盘后测量保护胶层厚度或目视观察凭经验判断的技术问题，可以准确测量保护胶层厚度，以及预测保护胶层的寿命，具有较好的便捷性、实用性和经济性。

今年以来中微公司新获得专利授权87个，较去年同期增加了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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