中微公司获得实用新型专利授权：“物理气相沉积设备及其磁控管调整机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“物理气相沉积设备及其磁控管调整机构”，专利申请号为CN202521450528.9，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本实用新型涉及物理气相沉积设备及其磁控管调整机构，包括：安装座，其上固定设置有自转轴，磁控管的偏心部位与自转轴转动连接，磁控管可绕自转轴转动而改变其与安装座之间相对位置；公转轴，其与安装座固定连接且可受驱动地转动，安装座以及磁控管可随公转轴同步转动；牵引绳，其与磁控管连接，能够牵引磁控管绕自转轴转动，使磁控管靠近或远离靶材中心区域；弹性复位件，其连接于磁控管与安装座之间，用于在磁控管偏离初始位置后提供与牵引绳拉力方向相反的弹性复位力。本实用新型能够实现磁控管位置的连续可调，从而满足刻蚀工艺和薄膜沉积工艺的需求，且机械结构简单，维护方便。

今年以来中微公司新获得专利授权81个，较去年同期减少了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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