中微公司获得实用新型专利授权：“一种供气系统及半导体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种供气系统及半导体处理装置”，专利申请号为CN202521318120.6，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种供气系统及半导体处理装置，所述供气系统包括前驱体供应管路，其包括进气端和出气端，所述出气端与半导体处理装置连接；所述进气端的上游并联设置有第一气体支路和第二气体支路；第一气体支路设有串联连接的第一质量流量控制器和第一气体阀门，用于通入载体气体或第一吹扫气体；第二气体支路设有串联连接的第二质量流量控制器、第二储气罐和第二气体阀门，用于通入第二吹扫气体，且第二质量流量控制器的量程大于第一质量流量控制器的量程。本实用新型提高了吹扫气体的吹扫效率，同时不影响对反应气体的精确控制。

今年以来中微公司新获得专利授权81个，较去年同期减少了3.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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