微导纳米获得发明专利授权：“半导体加工设备及晶圆传输平台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体加工设备及晶圆传输平台”，专利申请号为CN202211084311.1，授权日为2026年7月10日。

专利摘要：本发明公开了一种半导体加工设备及其晶圆传输平台，晶圆传输平台包括：平台本体，所述平台本体上设置有用于晶圆抓取的机械手；拓展腔，所述拓展腔为至少一个，且所述拓展腔位于所述平台本体的旁侧，并通过连接件可拆卸地安装于所述平台本体，所述拓展腔与所述平台本体构成平台区；反应腔组，所述反应腔组为多组，且各反应腔组分设于所述平台区的外周。在某个或者某些反应腔出现故障时，可以选择与之并列的其他反应腔完成工作，而无需停机，不仅提高了晶圆加工效率，且降低了设备维护成本。

今年以来微导纳米新获得专利授权46个，较去年同期增加了6.98%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息697条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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