芯联集成获得发明专利授权：“一种MEMS器件及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS器件及其制备方法”，专利申请号为CN202310452243.8，授权日为2026年7月10日。

专利摘要：一种MEMS器件及其制备方法，方法包括：提供器件基底，所述器件基底包括MEMS结构区和包围所述MEMS结构区的键合区；在所述器件基底的第一表面上的所述键合区形成键合金属环结构；形成保护层，以至少覆盖所述键合金属环结构用于和盖帽基底接合的接合面；对所述器件基底进行至少一次清洗处理；至少部分地去除所述保护层，以露出所述接合面；提供盖帽基底，将所述盖帽基底和所述器件基底通过所述键合金属环结构进行键合。本发明的方法能够在键合金属环结构表面形成保护层，避免了在多次清洗过程中损伤键合金属环结构，从而提高了器件的可靠性和良率。

今年以来芯联集成新获得专利授权45个，较去年同期增加了40.62%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了18.38亿元，同比减0.2%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目1752次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息845条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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