甬矽电子获得实用新型专利授权：“多功能晶圆载具和晶圆加工设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示甬矽电子（688362）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“多功能晶圆载具和晶圆加工设备”，专利申请号为CN202521628608.9，授权日为2026年7月10日。

专利摘要：本申请提供的一种多功能晶圆载具和晶圆加工设备，涉及半导体技术领域。该多功能晶圆载具包括盖体和底座。底座和盖体可拆卸的连接；盖体远离底座的一侧设有第一放置部，第一放置部用于承载第一晶圆。底座朝向盖体的一侧设有第二放置部，第二放置部用于承载第二晶圆。底座设有进液孔，进液孔用于向第二放置部注入清洗剂。该多功能晶圆载具的第一放置部可承载第一晶圆，便于对第一晶圆进行研磨。底座也可以放置第二晶圆，用于对第二晶圆进行清洗、存储或转运，功能丰富，可适用在多种场景中。

今年以来甬矽电子新获得专利授权26个，较去年同期减少了39.53%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比增34.55%。

通过天眼查大数据分析，甬矽电子（宁波）股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目41次；财产线索方面有商标信息169条，专利信息461条，著作权信息15条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

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