证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种抛光头及抛光设备”,专利申请号为CN202510968213.1,授权日为2026年7月7日。
专利摘要:本发明提供了一种抛光头及抛光设备,属于半导体制造技术领域。包括:基底(1);支撑部(2),设置在基底(1)的第一端面上,支撑部(2)与基底(1)之间具有一腔室;安装板(3),与支撑部(2)固定连接,安装板(3)将腔室分隔为第一腔室和第二腔室,安装板(3)上开设有通气孔(301);通气孔盖(4),与安装板(3)活动连接,通气孔盖(4)在安装板(3)上的正投影覆盖通气孔(301)的上开口;至少两个驱动组件(5),安装在安装板(3)上;至少两个施压盘(6),安装在驱动组件(5)上,施压盘(6)的下表面与基底(1)抵接。本发明的技术方案能够有效改善抛光头在不同区域的压力分布,满足抛光工艺中的压力需求。
今年以来西安奕材新获得专利授权57个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增10.17%。
通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目14次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1622条;此外企业还拥有行政许可24个。
数据来源:天眼查APP
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