中微公司获得发明专利授权：“基片处理系统及其工作方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“基片处理系统及其工作方法”，专利申请号为CN202110478886.0，授权日为2026年7月7日。

专利摘要：一种基片处理系统及其工作方法，其中，基片处理系统包括：传输腔；工艺腔，传输腔和工艺腔沿第一方向排布，工艺腔内设有第一基座单元和第二基座单元，第一基座单元和第二基座单元沿第一方向排布，第一基座单元包括至少一个第一基座，第二基座单元包括至少一个第二基座，第一基座用于承载第一基片，第二基座用于承载第二基片；机械手装置，设于所述传输腔内，具有第一工作位置和第二工作位置，机械手装置在第一工作位置时用于传输所述第一基片，机械手装置在第二工作位置时用于传输所述第二基片，机械手装置在传输第一基片和第二基片时所述第一基座和第二基座的位置不发生变化。所述基片处理系统中工艺腔运行的稳定性较好。

今年以来中微公司新获得专利授权79个，较去年同期减少了5.95%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1733条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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