芯联集成获得发明专利授权：“清洁型晶圆烤箱”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“清洁型晶圆烤箱”，专利申请号为CN202210988819.8，授权日为2026年7月3日。

专利摘要：本发明提供了一种清洁型晶圆烤箱，包括：箱体和进气部；所述箱体内具有烘烤腔，所述箱体上设置有与所述烘烤腔连通的排气口；所述进气部与烘烤腔连通可用于为所述烘烤腔的内部通入惰性气体，所述进气部被配置为：使得通入至所述烘烤腔的内部的所述惰性气体由所述烘烤腔的顶部向底部流动，并使得烘烤腔内的部分气体经所述排气口排出。本发明的晶圆烤箱通过下压式进风或者下压式补风的方式，在烘烤腔内形成下压风道及扰流，方便固体颗粒物的沉积，一方面方便固体颗粒物的清理，另一方面也使得晶圆烤箱自带清洁功能，可极大的降低固体颗粒物黏附在晶圆表面的概率。

今年以来芯联集成新获得专利授权43个，较去年同期增加了38.71%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了18.38亿元，同比减0.2%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目1752次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息844条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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