华海清科获得发明专利授权：“晶圆刷洗装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆刷洗装置”，专利申请号为CN202310176268.X，授权日为2026年7月3日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆刷洗装置，包括摆臂、升降驱动机构、弹性支撑机构、转轴、旋转驱动机构和刷体；升降驱动机构、弹性支撑机构和旋转驱动机构均位于摆臂上方，升降驱动机构、弹性支撑机构和转轴在竖直方向由上至下分布，升降驱动机构与旋转驱动机构在水平方向相邻配置；升降驱动机构通过弹性支撑机构连接转轴，转轴的上端可转动地连接于弹性支撑机构，转轴的下端穿过摆臂连接位于摆臂下方的刷体，旋转驱动机构连接转轴并通过转轴驱动刷体旋转；所述升降驱动机构与弹性支撑机构之间设置力传感器，以检测并反馈调节升降驱动机构施加的压力。

今年以来华海清科新获得专利授权49个，较去年同期增加了4.26%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目290次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息825条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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