证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆刷洗装置和晶圆刷洗方法”，专利申请号为CN202510314831.4，授权日为2026年7月3日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆刷洗装置和晶圆刷洗方法，该晶圆刷洗装置包括：箱体；支撑组件，设置于箱体中，其包括主动轮和从动轮，以竖向支撑并带动晶圆旋转；清洗刷，水平设置于箱体中并绕轴线转动，以刷洗晶圆；所述从动轮内部设置有环状的垫圈，其由硬质耐腐蚀材料制成；所述垫圈的外周壁配置有凹槽，用于卡接晶圆的边缘；所述垫圈配置有排液孔，其沿周向均匀分布并与所述凹槽连通，以排出凹槽中的污染物。
今年以来华海清科新获得专利授权49个，较去年同期增加了4.26%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。
通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目290次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息825条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可36个。
数据来源：天眼查APP
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