华海清科获得发明专利授权：“一种用于化学机械抛光的装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于化学机械抛光的装置”，专利申请号为CN202211579120.2，授权日为2026年7月3日。

专利摘要：本发明提供了一种用于化学机械抛光的装置，包括：抛光主体、护罩和注液组件；所述护罩围绕所述抛光主体设置，所述护罩的内部具有环形的流道，所述流道的底部开设有与外部连通的槽；所述注液组件与所述护罩可拆卸地连接，用于向所述流道内注液，液体由所述槽流出后形成环形液帘。采用本发明提供的保湿装置可以使得保湿液形成液帘，并沿护罩侧壁流下进行保湿，防止护罩下方的零部件外壁出现结晶；同时，相比于传统的正对侧壁的喷淋保湿方式，本发明形成的液帘可以贴壁下流，不会在喷射至外壁时造成液体飞溅，防止对其他区域造成二次污染。

今年以来华海清科新获得专利授权49个，较去年同期增加了4.26%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目290次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息825条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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