广钢气体获得发明专利授权：“一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示广钢气体（688548）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统”，专利申请号为CN202410053314.1，授权日为2026年6月30日。

专利摘要：本发明涉及一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，按输入至输出方向，依次包括原料罐、增压泵、缓冲罐、加热装置及纯化装置，所述原料罐用于储存液态二氧化碳，所述增压泵用于将所述原料罐的液态二氧化碳输送至所述缓冲罐并加压，所述加热装置连接缓冲罐的输出端，用于将缓冲罐输出的液态二氧化碳加热气化，所述纯化装置用于对加热装置输出的气态二氧化碳进行纯化，去除气态二氧化碳中的杂质。本发明提供的芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统，连续供应性和稳定性更强。

今年以来广钢气体新获得专利授权4个，与去年同期持平。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.03亿元，同比增1.77%。

通过天眼查大数据分析，广州广钢气体能源股份有限公司共对外投资了38家企业，参与招投标项目218次；财产线索方面有商标信息132条，专利信息57条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可19个。

数据来源：天眼查APP

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