芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件及其制备方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制备方法”，专利申请号为CN202310537317.8，授权日为2026年6月30日。

专利摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其制备方法。在MEMS器件的制备方法中，通过预先形成的连接振动区和切割道区的第二牺牲层，用于在刻蚀振动区内的第一牺牲层时可以同时去除第二牺牲层，从而释放出连通第一空腔和外界的流通通道，进而使得第一空腔内的刻蚀液不仅可以通过背腔导出，还可以经由该流通通道导出，有效缓解了第一空腔内的刻蚀液难以导出的问题，降低刻蚀液残留于第一空腔内的风险。

今年以来芯联集成新获得专利授权42个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了18.38亿元，同比减0.2%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目1752次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息837条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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