西安奕材获得发明专利授权：“外延生长设备及其温度控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“外延生长设备及其温度控制方法”，专利申请号为CN202311279076.8，授权日为2026年6月23日。

专利摘要：本发明提供了一种外延生长设备及其温度控制方法，属于半导体制造技术领域。外延生长设备，包括：上部石英钟罩和下部石英钟罩，上部石英钟罩和下部石英钟罩围设形成反应腔室；位于反应腔室内、用于放置硅片的基座；位于反应腔室内的加热模组，加热模组包括设置在基座上方的上加热模组和设置在基座下方的下加热模组；温度测量组件，用于获取硅片的上表面的温度和基座的温度；功率测量组件，用于获取加热模组的功率；控制单元，用于根据硅片上表面的温度、基座的温度和加热模组的功率，判断是否执行清洁步骤，对上部石英钟罩和/或下部石英钟罩进行清洁。本发明的技术方案能够对外延生长的温度进行控制，保证外延产品的品质。

今年以来西安奕材新获得专利授权53个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1616条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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