中科飞测获得发明专利授权：“缓存装置、检测设备及检测工艺”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“缓存装置、检测设备及检测工艺”，专利申请号为CN202610378049.3，授权日为2026年6月19日。

专利摘要：本申请提供一种缓存装置、检测设备及检测工艺，涉及半导体技术领域，缓存装置包括仓体、仓盖、进气部和抽气部，仓体在第一方向上的一侧设有开口部，进气部与仓体内部连通，仓体内部沿第二方向依次设置多层用于容置待处理部件的容置部，在第二方向上，第一层容置部与仓体的仓壁之间以及每相邻两层容置部之间各形成一层间隙层，抽气部包括多个相互独立的子抽气部，每层间隙层分别与不同的子抽气部连通，其中，第一方向与第二方向垂直。通过独立控制每个子抽气部的抽气量可以避免各层间隙层的气流量差异太大导致气流量小的间隙层对应的部件处理效果不佳的问题，保障处理均匀性。

今年以来中科飞测新获得专利授权37个，较去年同期增加了8.82%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6.56亿元，同比增31.76%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目282次；财产线索方面有商标信息376条，专利信息1124条，著作权信息43条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。

相关 ETF