西安奕材获得发明专利授权：“一种监测晶圆位置的装置以及最终抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种监测晶圆位置的装置以及最终抛光设备”，专利申请号为CN202211564251.3，授权日为2026年6月19日。

专利摘要：本发明实施例公开了一种监测晶圆位置的装置以及最终抛光设备；所述装置包括：具有敞口的存储模块，所述存储模块包括由沿竖向排成两列的条状的支撑件构成的多层等间距布设的支撑件组；其中，每个支撑件组包括处于同一水平面中的两个支撑件，晶圆通过抵接不同列的两个支撑件被支撑；沿所述存储模块径向均匀地布设于所述存储模块外周的至少四组监测模块，所述监测模块用于监测所述存储模块中所述晶圆的位置是否异常；其中，所述监测模块能够发射激光信号并接收相邻监测模块所发射的激光信号，且当存在所述监测模块接收的激光信号不一致时，判定所述晶圆位置异常。

今年以来西安奕材新获得专利授权52个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1616条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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