中微公司获得发明专利授权：“一种静电吸盘及等离子体反应装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种静电吸盘及等离子体反应装置”，专利申请号为CN202110341643.2，授权日为2026年6月12日。

专利摘要：本发明提供一种静电吸盘，包含：基座；设置在基座上的第一介电层，其为具有第一电阻率的有掺杂陶瓷材质，第一介电层内设有产生静电力的电极；第二介电层，设置在第一介电层上并覆盖第一介电层，且第二介电层为具有第二电阻率的无掺杂陶瓷材质；第二电阻率大于第一电阻率。本发明还提供一种等离子体反应装置。本发明的静电吸盘吸附力强，吸附力分布均匀，易解吸附，使用寿命长，颗粒物污染少，有效防止晶圆背面发生氦气打火，提高了晶圆加工成品率和生产效率。

今年以来中微公司新获得专利授权78个，较去年同期增加了5.41%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1700条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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