中微公司获得实用新型专利授权：“一种真空吸盘、基座组件和薄膜沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种真空吸盘、基座组件和薄膜沉积装置”，专利申请号为CN202520892567.8，授权日为2026年6月12日。

专利摘要：一种真空吸盘、基座组件和薄膜沉积装置，真空吸盘包含：用于承载衬底的承载面，所述承载面上开设有气槽，所述气槽上设有真空吸孔，所述真空吸孔连通真空源，以通过所述气槽吸附所述衬底；用于容纳升降顶针的多个升降销孔，所述升降销孔和所述气槽在所述承载面上至少部分重合，以使所述气槽抽走所述升降销孔内的滞留气体。本实用新型提供的一种真空吸盘、基座组件和薄膜沉积装置中，用于容纳升降销通过的升降销孔和气槽在承载面上至少部分重合，升降销孔内聚集的气体会在气槽中周向扩散并与衬底背面接触，有助于增加衬底周向温度的分布均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权76个，较去年同期增加了2.7%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。