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天准科技：德国子公司Muetec专注于半导体前道晶圆的量测设备

来源：证星互动追踪

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2026-06-11 15:36:14

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证券之星消息，天准科技(688003)06月11日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：董秘你好！请问公司的高端半导体设备领域有哪些战略布局？是否为自主可控技术？

天准科技回复：您好，感谢对公司的关注。天准科技的德国子公司Muetec，专注于半导体前道晶圆的量测设备，包括Overlay、OCD等，苏州矽行半导体专注于前道晶圆的缺陷检测设备，包括明场检测设备、暗场检测设备等，其中的关键部件均已实现自主可控。

本文数据来源于上海证券交易所e互动，仅供参考不构成投资建议。

责任编辑：沈彬

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