京仪装备获得发明专利授权：“晶圆预校准方法及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆预校准方法及装置”，专利申请号为CN202211628038.4，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆预校准方法及装置，属于晶圆制造领域，该方法包括：通过位移传感器，获取晶圆边缘与传感器测量范围边界线之间的距离信息；根据距离信息确定边缘构成的曲线沿第二坐标轴方向的极值点，根据极值点对应的第二坐标轴的取值确定晶圆在第二坐标轴的偏移量；在晶圆基于偏移量进行第二坐标轴的校准后，根据传感器测得的边界线内晶圆最大宽度，和基于转台中心确定的第一坐标轴方向的边界线内晶圆最大宽度，确定第一坐标轴的偏移量，以基于第一坐标轴的偏移量进行校准。该方法基于晶圆边缘和传感器边界的距离实现，可通过一次位移采集足量的有效信息，从而提高晶圆校准过程的效率，且不需要旋转一周或一周以上，进一步提高校准效率。

今年以来京仪装备新获得专利授权36个，较去年同期增加了63.64%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.4亿元，同比增48.65%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目106次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息582条，著作权信息75条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

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