芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件的形成方法及MEMS器件”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件的形成方法及MEMS器件”，专利申请号为CN202211336610.X，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本发明涉及一种MEMS器件的形成方法和MEMS器件。所述方法包括：在衬底上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成功能层和与所述功能层电连接的导电连接层；形成贯穿所述导电连接层的导通槽；形成保护层，所述保护层至少覆盖经由所述导通槽暴露出的所述导电连接层的侧壁；形成暴露出所述牺牲层的释放槽，所述释放槽在所述衬底平面上的垂直投影落入所述导通槽在所述衬底平面上的垂直投影内，以使所述导通槽的侧壁保留有部分厚度的所述保护层；经由所述释放槽去除所述牺牲层。本发明所提供的MEMS器件的形成方法和MEMS器件，使空气桥的结构更坚固，性能更稳定。

今年以来芯联集成新获得专利授权38个，较去年同期增加了46.15%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了18.38亿元，同比减0.2%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目1752次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息832条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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