苏大维格获得发明专利授权：“一种采用组合光阑的光刻方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示苏大维格（300331）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种采用组合光阑的光刻方法”，专利申请号为CN202011421768.8，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本发明公开一种采用组合光阑的光刻方法，该方法包括如下步骤：设计所需的图形，并进行图形处理以形成图形位图；将图形位图生成n套数据文件；根据实际需求，确定光阑大小；将光阑分成k个子光阑文件；光刻，将n套数据文件与k个子光阑文件一一对应进行光刻，n＝k，其中，每次光刻前均完成一套数据文件与一个子光阑文件的对应。采用多套数据文件，对应多套子光阑文件嵌套光刻的方式对同一个光阑内进行光刻，使在一个光刻形成的子光阑文件内形成一个具有有不同角度或者周期的光栅组合，从而减少了边缘的锯齿，降低了数据量，提高了分辨率；并且通过这种方法，可以任意划分光阑，调整亮暗比例，可以产生更多的视觉效果。

今年以来苏大维格新获得专利授权19个，较去年同期减少了26.92%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.87亿元，同比增28.97%。

通过天眼查大数据分析，苏州苏大维格科技集团股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目331次；财产线索方面有商标信息217条，专利信息692条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可7个。

数据来源：天眼查APP

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