中微公司获得发明专利授权：“一种晶圆基座、化学气相沉积设备及使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆基座、化学气相沉积设备及使用方法”，专利申请号为CN202111458261.4，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆基座、化学气相沉积设备及使用方法，所述晶圆基座，包括：加热器，用于对待处理晶圆进行加热；若干个凸台，间隔设置于所述加热器上；每一所述凸台的一端与所述加热器连接；且每一所述凸台暴露于所述加热器上方的高度可调节，以使每一所述凸台的另一端支撑所述晶圆。本发明通过调节每一凸台暴露于加热器上方的高度，可以使晶圆基座支撑不同类型的晶圆并调整晶圆上的热量分布，从而保证不同类型的晶圆皆受热均匀及受力均匀。

今年以来中微公司新获得专利授权75个，较去年同期增加了1.35%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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