华微电子获得实用新型专利授权：“芯片曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华微电子（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“芯片曝光设备”，专利申请号为CN202521041897.2，授权日为2026年5月26日。

专利摘要：本申请提供一种芯片曝光设备，包括曝光光源模块、传送模块和控制模块；曝光光源模块用于在控制模块的控制下对芯片进行曝光处理；控制模块用于接收传送模块和曝光光源模块的信号，并向传送模块和曝光光源模块发送信号以驱动其实现设定动作；传送模块用于在控制模块的控制下驱动待曝光芯片沿第一方向和第二方向进行移动。本方案通过只设置控制模块、传送模块和曝光光源模块，完成对于芯片的自动曝光操作；其中传送模块用于实现送片和收片，控制模块中的可编程控制器支持自定义编程。在使用本申请提供的芯片曝光设备时，操作人员只需放片后触摸开始按钮，便可实现整筐芯片全曝光，无需其他光刻机的繁琐步骤，相比步进曝光，全曝光效率更高。

今年以来华微电子新获得专利授权15个，较去年同期减少了11.76%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.37亿元，同比增9.47%。

通过天眼查大数据分析，吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目140次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息288条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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