华微电子获得实用新型专利授权：“一种槽式硅片自动清洗机兆声振板保护系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华微电子（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种槽式硅片自动清洗机兆声振板保护系统”，专利申请号为CN202521041065.0，授权日为2026年5月26日。

专利摘要：本申请提供槽式硅片自动清洗机兆声振板保护系统，涉及半导体制造领域。该槽式硅片自动清洗机兆声振板保护系统包括清洗槽；水浴槽用于安装兆声振板，清洗槽安装于水浴槽的上方；控制模组；进水组件与水浴槽连接并与控制模组电连接；排水组件与水浴槽连接并与控制模组电连接；水位测量模组用于测量水浴槽内液体的水位值并将水位值传递至控制模组；pH值测量模组用于测量水浴槽内液体的pH值并将水位值传递至控制模组传递至控制模组；控制模组根据水位值和/或pH值控制进水组件的工作状态和排水组件的工作状态。本实用新型通过实时观测水浴槽pH值和水位情况，可以提前发现或预判异常，做到预防性维修保养，有效避免因水浴槽异常导致的兆声振板损坏。

今年以来华微电子新获得专利授权15个，较去年同期减少了11.76%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.37亿元，同比增9.47%。

通过天眼查大数据分析，吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目140次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息288条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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