中微公司获得实用新型专利授权：“环组件及外延生长设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“环组件及外延生长设备”，专利申请号为CN202520811017.9，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种环组件及外延生长设备，环组件应用于外延生长设备中，包括：环主体；多个第一隔离槽，设于环主体的顶面，从环主体的内边缘向外延伸；多个第二隔离槽，设于环主体的顶面，从环主体的外边缘向内延伸；第一隔离槽和第二隔离槽的延伸方向与环主体的径向之间存在一定夹角，第一隔离槽与第二隔离槽间隔分布，且相邻的第一隔离槽和第二隔离槽在周向投影上存在重叠区域。本实用新型将环主体沿周向分隔为多个应力区域，有效防止周向应力叠加导致环主体变形，第一隔离槽和第二隔离槽的方向与环组件上方的气流方向匹配，使环主体能够在多个外延生长周期后，依然能不变形，有助于维持环组件上方的工艺气流分布均匀，优化外延工艺效果。

今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了7.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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